微電子之傳感器的激光焊錫應(yīng)用

傳感器是一種高精度檢測儀器,在軍事、航空、航天中應(yīng)用都有嚴(yán)格要求，產(chǎn)品都須經(jīng)過嚴(yán)格測試才能應(yīng)用。所以傳感器生產(chǎn)是一種高新技術(shù)的具體運用和體現(xiàn)。一種傳感器是否有較高的技術(shù)附加值體現(xiàn)在所包含的技術(shù)含量和加工工藝的技術(shù)是否高新。有部分傳感器由于其應(yīng)用環(huán)境的狀況需金屬封裝，一般采用焊接密封,如壓力傳感器、力傳感器、霍爾傳感器、光電傳感器、溫度傳感器等，這類傳感器內(nèi)部有敏感元件和集成電路，充惰性氣體或抽真空與外界隔絕,有耐壓、氣密性要求，另有焊接強度要求和漏氣率要求，對焊接質(zhì)量要求高,而且焊接過程中要求變形小，不能對內(nèi)部元件和微電路有損壞。目前傳感器采用激光錫焊機效果很好得到大量的應(yīng)用。

激光焊錫在傳感器生產(chǎn)中的工藝特點

（1）蕞小熱輸入。由于功率密度高，熔化過程極快，輸入工件熱量很低，焊接速度快，熱變形小，熱影響區(qū)小。

（2）高致密性。焊縫生成過程中，熔池不斷攪拌，氣體易出，導(dǎo)致生成無氣孔熔透焊縫。焊后高的冷卻速度又易使焊縫組織微細化，焊縫強度、韌性和綜合性能高。

（3）精確控制。因為聚焦光斑很小，焊縫可以高精度定位，光束容易傳輸與控制，不需要經(jīng)常更換焊炬、噴咀，明顯減少停機輔助時間，生產(chǎn)效率高，光無慣性，還可以在高速下急停和重新啟始。

（4）非接觸、大氣環(huán)境焊接過程。因為能量來自激光，工件無物理接觸，因此沒有力施加于工件。另磁和空氣對激光都無影響。

（5）由于平均熱輸入低，加工精度高，可減少再加工費用，另外，激光焊接運轉(zhuǎn)費用較低，從而可降低工件成本。

（6）容易實現(xiàn)自動化，對光束強度與精細定位能進行有效控制。